2023년06월10일 20번
[과목 구분 없음] 웨이퍼 표면 위에 스핀 코팅(spin coating)을 통해 감광제를 도포하였다. 목표한 두께에 비해 도포된 감광제층이 얇을 경우 이를 개선하기 위한 방법은?
- ① 웨이퍼의 반경을 늘린다.
- ② 감광제 용액의 점도를 낮춘다.
- ③ 웨이퍼의 회전속도를 낮춘다.
- ④ 감광제 용액 내 고형분의 함량을 낮춘다.
(정답률: 알수없음)
문제 해설
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